設備名稱：OLED大尺面高精密運動臺
生產任務：激光切割偏光片、去廢設備stage工作臺，應用于12-27英寸TFT-LCD顯示面板切割
產品特性：
?設備滿足X+Y方向的位移運動，可實現X、Y高精度的步進掃描、切割運動；
? X、Y采用高精度直線導軌、花崗巖大理石基座，低摩擦，保證了運動平面度和直線度；
?有鐵芯直線電機驅動，大推力，高負載，滿動穩定性；
?高分辨率光柵系統作位置反饋。
設備部分實景圖
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名稱 |
X1軸 |
X2軸 |
Y軸 |
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速度 |
800mm/s |
1000mm/s |
1000mm/s |
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加速度 |
1g |
1g |
1g |
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行程 |
525mm |
795mm |
1550mm |
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重復疋位精度 |
±2μm |
±2μm |
±2μm |
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定位精度 |
±3μm |
±3μm |
±3μm |
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分辨率 |
0.1μm |
0.1μm |
0.1μm |
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直線度 |
±3μm/m |
±3μm/m |
±3μm/m |
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負載 |
30kg |
40 kg |
100kg |
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XY正交 |
±3 μm/m |
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